Microfabrication en salle blanche

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Notre expertise salle blanche

Photolithographie

  • UV et électronique
  • LIGA

Gravure sèche et humide

  • RIE, DRIE profonde sur matériaux diélectriques (Verre, Si3N4, LN...)
  • FIB
  • KOH, BHF

Dépôts de couches minces et épaisses

  • PVD, ICPE CVD pour dépôts métalliques (Al, Au, Cr, Ti, Pt, Ni, Cu,...) et d’oxydes (SiO2, TiO2, ZnO, ZrO2...)
  • Electrodéposition de couches épaisses, électroformage (Ni, Cu, Au)

Développement de technologies spécifiques de salle blanche

Pour MEMS, micropièces mécaniques & composants optiques

Couches minces monocristallines

  • Fabrication de couches minces 100% monocristallines d’épaisseur de 1 à 300 µm de silicium, quartz, LN, LT, verre, saphir... collées sur différents types de substrats
  • Process propriétaire garantissant le maintien des propriétés physico-chimiques des matériaux
  • Wafers composites

Usinage de structures ridges

  • Verticalité des flancs > 88°
  • Rugosité des flancs inférieure à 5 nm
  • Rapport de forme maximal de 400

Packaging de composants optiques

  • Pigtailing fibres monomodes, PMF
  • Contrôle en température par modules Peltier
  • Composants PPLN et PPLT sur mesure
  • Réseaux polarisés de périodes de 5 à 100 µm
  • Composants optiques PPLN pour l’optique non-linéaire / convertisseurs de fréquences

Masque de photolithographie

Masque de photolithographie

Microfabrication

Salle blanche MIMENTO, ISO 5 à 7 - ISO 9001
Membre du réseau RENATECH

Nos services

  • Prestations technologiques à la demande
  • Développement de process spécifiques sur Si, verres, quartz, saphir, diamant, LN, LT...
  • Etudes de faisabilité, tests
  • Fabrication de très petites et petites séries

Wafer composite

Wafer composite

Structure ridge

Structure ridge

Florent BASSIGNOT

Contact

Florent BASSINOT, PhD
Microfabrication Engineer
FEMTO Engineering
15B avenue des Montboucons - F-25030 BESANÇON
Tél +33 (0)3 81 66 55 83
florent.bassignot@femto-st.fr

Rabah ZEGGARI

Contact BIOMEDICAL

Rabah ZEGGARI, PhD
Micro & Nanotechnology Engineer
BioMEMS & NEMS
FEMTO Engineering
15B, avenue des Montboucons
F-25030 BESANÇON CEDEX
Tél +33 (0)3 63 08 24 82 - Fax (0)3 81 66 67 01
rabah.zeggari@femto-st.fr